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ZKDMB系列 中頻濺射電源
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  • 應(yīng)用行業(yè)
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采用波形控制技術(shù),輸出特性可調(diào):包括輸出頻率,占空比,輸出波形可調(diào)??奢敵?直流,直流+脈沖,雙向方波,雙向梯形波等波形。極快弧光響應(yīng),極低能量存儲。產(chǎn)品穩(wěn)定性能優(yōu),可靠性高。精 準(zhǔn)便利控制鍍膜。用于太陽能電池片管PECVD成膜等多種膜涂層制造。磁控濺射工藝。孿生靶濺射工藝等真空鍍膜。

產(chǎn)品特點


    模塊化設(shè)計,符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

    前端PFC+碳化硅全橋電路,DSP和FPGA數(shù)字控制調(diào)節(jié),輸出穩(wěn)定性 0.3%;
    控制電弧攜帶能量表現(xiàn)優(yōu),<0.4mj/kw,
    弧光響應(yīng)極快,電弧響應(yīng)時間<100ns;

    波形和頻率靈活可調(diào),雙極性、單極性、直流、脈沖多種模式合一電弧主動抑制技術(shù);
    控制指令快速響應(yīng);

    豐富的通訊接口:Ether CAT,DeviceNET,Profibuse,Profinet,Modbuse等



產(chǎn)品參數(shù)

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