力源中頻電源是廣泛應(yīng)用在太陽能電池制造和真空鍍膜過程中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD） 鍍膜工藝上的特種電源。輸出有單通道、雙通道等方式，每通道功率可達(dá)15kW~60kW，可以輸出多種電壓波形 （如方波、階梯波、雙極性脈沖波），滿足不同鍍膜工藝要求。
● 全數(shù)字化控制；
● 電源轉(zhuǎn)換效率高；
● 輸入功率因數(shù)高，
● 諧波電流含量低；
● 極低電弧能量，超快電弧關(guān)閉和恢復(fù)輸出；
● 可調(diào)多種輸出波形；
● 通過輸出信號變化輕松適配不同工藝。
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